金属/SiOx 界面におけるシリサイド形成 の履歴差分(No.1)



|[[電子照射-電子励起による相転移]]|
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REFERENCES
[1] J. -G. Lee, %%%T. Nagase%%%, H. Yasuda, H. Mori, Journal of Applied Physics, 117, 194307 1-8 (2015)., "Synthesis of metal silicide at metal/silicon oxide interface by electronic excitation", http://dx.doi.org/10.1063/1.4921429


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